정밀 세라믹 구조 부품

반도체 장비용 내부식·내열 구조 부품

정밀 세라믹 구조 부품

제품 소개

고순도 알루미나, 지르코니아 등 선진 세라믹을 정밀 성형·소결하여 우수한 내부식성과 내열성을 갖춘 구조 부품입니다. 식각기, PVD/CVD 장비의 챔버 라이너, 정전 척(ESC), 절연 링 등 핵심 부품으로 반도체 핵심 제조 장비의 안정적 운용을 보장합니다.

기술 사양

소재高純度アルミナ、ジルコニアセラミック
특성耐プラズマ腐食、熱安定性に優れる
핵심 적용エッチング機、PVD/CVDチャンバライナー
개발 상태静電チャック(ESC)開発中
GZO/AGZO 타겟
7N 초고순도 인듐

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