GZO/AGZO 타겟

갈륨/알루미늄 도핑 산화아연 타겟

GZO/AGZO 타겟

제품 소개

GZO(갈륨 도핑 산화아연)와 AGZO(알루미늄 도핑 산화아연) 타겟은 순도 ≥4N, 밀도 ≥7.1, 비저항 ≤0.3×10⁻³ Ω·cm, 결정립 ≤5μm로 저비용·고성능 투명 도전 산화물 솔루션을 제공하며 태양광, 터치, 플렉시블 전자 코팅에 적합합니다.

기술 사양

순도≥ 4N
밀도(111) ≥ 6.32 g/cm³;(136) ≥ 5.82 g/cm³
결정립 크기≤ 10 μm
비저항(111) ≤ 50 mΩ·cm;(136) ≤ 100 mΩ·cm
단절 최대 길이550 mm
특성摻雜鋅氧化物靶材,適配透明導電與光伏
RPD/IZO 타겟
정밀 세라믹 구조 부품

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