欧莱新材材料研究院
欧莱新材材料研究院共设立了6个市级、省部级科研平台和9个内设研发机构，拥有多名国内外具有先进行业经验的高端人才，研究课题涉及先进铜材料、靶材制备技术、半导体电子材料、薄膜技术、新能源材料（光伏电池、动力电池）、高纯金属、稀散金属、检测分析技术等领域，致力于打造产研用一体化的企业研发创新体系。
6个科研平台
市级、省部级科研平台
高端人才团队
国内外具有先进行业经验的高端人才
9个研发机构
内设研发机构，覆盖全产业链
核心研发设备
타깃 스퍼터링 검증의 핵심 장비로, 스퍼터링 박막 증착 공정 연구에 사용된다.
극한 진공
≤5.0×10⁻⁶Pa
스퍼터링 전력
DC/RF 500W
기판 크기
≤4인치
온도 범위
RT-800°C
국내 동종 업계 최대 듀얼 액션 구리 압출기 중 하나로, 루위안 생산 기지에 위치하며 고급 구리 합금 소재에 강력한 가공 능력을 제공한다.
공칭 압력
5500톤
컨테이너 직경
Φ280-420mm
압출비
최대 50:1
제품 길이
≤25m
화남 지역 최대 규격의 열간 등방성 프레스로, 고성능 금속 및 첨단 소재에 치밀화 처리를 제공한다.
최고 온도
1400°C
최고 압력
200MPa
작업 구역
Φ500×1000mm
온도 균일성
±5°C
박막 전도성을 정밀하게 측정하며, 타깃·금속 박막 등 소재의 비저항 시험에 적합하다.
비저항 범위
10⁻⁵~10⁵ Ω·cm
시트 저항
10⁻³~10⁶ Ω/□
측정 정밀도
±0.5%
탐침 간격
1.0mm
나노 수준 표면 정밀 검사로, 박막 두께·표면 거칠기 등 형상 파라미터 측정에 사용된다.
수직 분해능
≤0.1nm
스캔 범위
≤50mm
최대 시료 두께
50mm
스테이지 크기
200×200mm
반도체급 청정 환경으로, 노광기·현상기 등을 갖추고 포토리소그래피 공정 연구개발에 사용된다.
청정도 등급
Class 1000
리소그래피 해상도
≤1μm
노광 면적
≤6인치
오버레이 정밀도
≤0.3μm
소재의 미세 형상 관찰 및 성분 분석에 사용되며, 분해능은 나노미터 수준에 도달한다.
이차전자 분해능
≤3.0nm@30kV
배율
7X~1,000,000X
가속 전압
200V~30kV
EDS 분석
B-U 원소
소재의 정성·정량 위상 분석으로, 타깃·박막 등 소재의 결정 구조 특성화에 사용된다.
각도 범위
5°~140°(2θ)
측정 정밀도
±0.01°
X선 광원
Cu Kα
최대 출력
3kW
유도 결합 플라즈마 발광 분광계로, 소재 내 원소 함량 분석에 사용된다.
파장 범위
167-852nm
분석 정밀도
ppm급
검출 한계
ppb급
선형 범위
5-6 오더
금속 소재 중 산소·질소·수소 함량을 정밀하게 측정한다.
산소 검출 범위
0.05ppm~5.0%
질소 검출 범위
0.05ppm~3.0%
수소 검출 범위
0.1ppm~0.25%
검출 한계
0.025ppm(O)
