ITO 스퍼터링 타겟

패널 디스플레이 핵심 소재, 순도 ≥4N5

ITO 스퍼터링 타겟

제품 소개

순도 ≥4N5, 밀도 ≥99.5% 이론 밀도, 회전 타겟 활용률 70% 이상으로 순도와 밀도 지표가 국내 선도급입니다. BOE·CSOT·HKC 등 주요 패널 메이커 인증을 통과했으며 LCD/OLED 패널, 터치스크린, 박막 태양전지에 폭넓게 적용됩니다.

기술 사양

순도≥ 4N5
밀도≥ 99.5% 理论密度(≥ 7.135 g/cm³)
결정립 크기≤ 5 μm
표면 거칠기≤ 1.6 μm
비저항≤ 160 mΩ·cm
회전 타깃 사용률> 70%
최대 길이平面 1100 mm / 回転 1200 mm
인증BOE、CSOT、HKC認証通過
ITO 분말
IGZO 스퍼터링 타겟

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